Μια μηχανή επίστρωσης κενού είναι μια συσκευή που εναποθέτει μεταλλικές λεπτές μεμβράνες στην επιφάνεια ενός υποστρώματος.Η βασική αρχή λειτουργίας του χωρίζεται σε τρία στάδια: καθαρισμός, εξάτμιση και εναπόθεση.
1. Καθαρισμός
Πριν από την εναπόθεση εξάτμισης, ο θάλαμος εξάτμισης πρέπει να καθαριστεί.Επειδή μπορεί να υπάρχουν οξείδια, γράσο, σκόνη και άλλες ουσίες συνδεδεμένες στην επιφάνεια του θαλάμου εξάτμισης, αυτά θα επηρεάσουν την ποιότητα του φιλμ.Ο καθαρισμός συνήθως χρησιμοποιεί χημικές ή φυσικές μεθόδους.
2. εξάτμιση
Το επιθυμητό υλικό θερμαίνεται πάνω από το σημείο τήξης του έτσι ώστε να σχηματίσει αέρια μόρια.Τα αέρια μόρια στη συνέχεια διαφεύγουν στον θάλαμο κενού στον θάλαμο εξάτμισης.Αυτή η διαδικασία ονομάζεται εξάτμιση.Η θερμοκρασία, η πίεση και ο ρυθμός εξάτμισης επηρεάζουν τη σύνθεση, τη δομή και τις ιδιότητες του φιλμ.
3. Κατάθεση
Τα αέρια μόρια του υλικού στον θάλαμο εξάτμισης εισέρχονται στον θάλαμο αντίδρασης μέσω του σωλήνα κενού, αντιδρούν με το ενεργό υλικό και στη συνέχεια εναποθέτουν το προϊόν στην επιφάνεια του υποστρώματος.Αυτή η διαδικασία ονομάζεται καθίζηση.Η θερμοκρασία, η πίεση και ο ρυθμός εναπόθεσης επηρεάζουν επίσης την ποιότητα και την απόδοση του φιλμ.
2. Εφαρμογή
Οι μηχανές επίστρωσης κενού χρησιμοποιούνται ευρέως στην επιστήμη των υλικών, την οπτική, την ηλεκτρονική και άλλους τομείς.
1. Επιστήμη Υλικών
Οι μηχανές επίστρωσης κενού μπορούν να παρασκευάσουν λεπτές μεμβράνες από διάφορα μέταλλα, κράματα, οξείδια, πυριτικά και άλλα υλικά και χρησιμοποιούνται ευρέως σε επιστρώσεις, οπτικές μεμβράνες, οπτικές αποθήκες, οθόνες, τρανζίστορ και άλλα πεδία.
2. Οπτική
Το μηχάνημα επίστρωσης κενού μπορεί να παρασκευάσει μεμβράνες μετάλλων και κραμάτων με υψηλή ανακλαστικότητα και οπτικές μεμβράνες με ειδικές λειτουργίες.Αυτά τα φιλμ μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε ηλιακούς συλλέκτες, ηλεκτρονικά μικροσκόπια υψηλής απόδοσης, αεροπηκτές, αισθητήρες UV/IR, οπτικά φίλτρα και άλλα πεδία.
3. Ηλεκτρονικά
Οι μηχανές επίστρωσης κενού μπορούν να προετοιμάσουν ηλεκτρονικά υλικά νανοκλίμακας και μικροηλεκτρονικές συσκευές.Αυτά τα φιλμ μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε νανοτρανζίστορ, μαγνητικές μνήμες, αισθητήρες και άλλα πεδία.
Εν ολίγοις, η μηχανή επικάλυψης κενού μπορεί όχι μόνο να προετοιμάσει διάφορα υλικά λεπτής μεμβράνης, αλλά και να προετοιμάσει λεπτές μεμβράνες με ειδικές λειτουργίες όπως απαιτείται.Στο μέλλον, η τεχνολογία επικάλυψης κενού θα χρησιμοποιηθεί και θα προωθηθεί ευρύτερα.
Ώρα δημοσίευσης: Μαρ-12-2024